Speaker
Mr
Kazuki Komiya
(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)
Description
GEMフォイルは通常、絶縁層にプラスチックフィルムを用いている。このため、使用中に放電がたびたび起こると、炭化導電路が形成され電極間の短絡を引き起こすことが知られている。
そこで、絶縁層にセラミックスを用いたGEMフォイルを今回開発した。このGEMフォイルはフォトリソグラフィー技術を用いず簡単な工程で製造される。また、耐トラッキング特性に優れ、放電による電極間の短絡がない。
発表では、このGEMフォイルについて増幅率等測定した特性を紹介する。
Primary author
Mr
Kazuki Komiya
(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)
Co-authors
Prof.
Hideki Hamagaki
(University of TOKYO)
Dr
Masaki Wakabayashi
(RIKEN)
Ms
Megu Kubota
(Student)
Prof.
Toru Tamagawa
(RIKEN)
Ms
Yoko Takeuchi
(RIKEN/Tokyo University of Science)
